Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Книга "Технологические процессы в микро- и наноэлектронике"
Авторы: Ю. А. Родионов
Издатель: Инфра-Инженерия
Год издания 2025
ISBN: 978-5-9729-2209-3
Описание
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Характеристики
- параметрPDF
- Наименование Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
- Категория знания и навыки/учебная и научная литература/учебники и пособия для вузов
- Авторы Ю. А. Родионов
- Издатель Инфра-Инженерия
- Год издания 2025
- ISBN 978-5-9729-2209-3
- Тип Книга
- Продавец Литрес
- Актуальность 28.05.2026
Еще в этой категории
Другие интернет-магазины
